一、产品概述
罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用，可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。
特长
结净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运转。
用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备，CO2激光设备
二、技术参数
|
机 型 |
NB100A |
NB300A |
NB600A |
NB1200A |
|
项 目 |
|
抽气速率*3
m3/h（L/min） |
50Hz |
95(1580) |
280(4670) |
500(8330) |
1000(16667) |
|
60Hz |
115(1920) |
330(5500) |
600(10000) |
1200(20000) |
|
最大吸入压力 Pa
(连续运转时) |
50Hz |
1.3×103 |
1.2×103 |
1.3×103 |
|
60Hz |
1.3×103 |
9.3×102 |
1.1×103 |
|
最大允许压力差 Pa
(排出压力-吸入压力) |
50Hz |
8.0×103 |
4.0×103 |
7.3×103 |
|
60Hz |
6.7×103 |
3.3×103 |
6.0×103 |
|
极限压力 Pa*1 |
4.0×10‐1 |
6.7×10‐1 |
|
标准粗抽泵 |
GLD-N280
VDN301 |
VDN401 |
VSN1501
VSN2401 |
VSN1501
VSN2401 |
|
电 机 |
kW (极) *2 *4 |
0.4（2） |
0.75（2） |
2.2（2） |
3.7(2) |
|
V-Hz |
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
|
使 用 油 |
ULVOIL® R-4 |
|
所需油量 L |
0.35 |
0.70 |
1.50 |
1.90 |
|
冷却水量 L/min*6 |
空 冷 |
2 *5 |
2 |
3 |
|
进水压力 MPa |
－ |
|
0.3 |
|
|
进出水压差 MPa |
－ |
0.05 |
0.1 |
|
重 量 kg |
24 |
49 |
77.5 |
110 |
|
吸气口径 (JIS B 2290) |
相当 VG50 |
相当 VG80 |
相当VG80 |
相当VG100 |
|
排气口径 (JIS B 2290) |
相当VF50 |
相当VF80 |
相当VF80 |
相当VF80 |
|
|
|
|
|
|
|
*1 用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A则为6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 电源为AC380V、50Hz、三相。
*3 随粗抽泵的性能而变化，表中为标准泵的组合的数据。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。
*5 对于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。
*6 冷却水温为5～30℃。 | 
您的位置：
银行转账