一、产品概述:
Ecodry系列为欧瑞康莱宝最新推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说,结构简单,价合理,因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。
二、技术参数: 抽速:14m3/h~30m3/h
极限真空度:5.5×10-2mbar 排水蒸气能力:25mbar(最大) Ecodrg活塞式干泵的主要特点: 1、结构简单,易于操作和维护; 2、工作过程中不产生粉尘; 3、耐粉尘,排水蒸气能力强; 4、低能耗,坚固耐用,可靠性高; 5、可以选配变频器增大抽速; 典型应用:质谱仪,电子显微镜,照明,镀膜,loadlock,无油高真空前级泵等
|