一、产品概述

溅射离子泵是根据潘宁放电原理制造的泵，它是当今获得无油超高真空最常用的工具之一，其工作压强可低至10^-9帕。因此，在可控热核反应装置、各种粒子加速气装置、空间环境模拟、电真空工业以及其它要求无污染的真空设备及系统中，溅射离子泵的应用是很广泛的。
以3L型溅射离子泵说明工作原理，其余大同小异。 抽气单元在电场和磁场的共同作用下，阴极和阳极之间的气体被电离，离子受加速轰击阴极，溅射出阳极材料一钛，溅射出来的钛散落在阴极和泵壳(泵可作为收集极)上。
活性气体如氧、氮、二氧化碳……与钛起反应生成各种化合物沉积在阴极和收集极上。 惰性气体如氩、氦、氖则被溅射出来的钛掩埋。 氢轰击阴极后潜入阴极然后向阳极内部扩散。
被抽气体以各种方式被捕集在泵内，气体稀薄，钛的消耗量少。所以有很长的寿命，在1×10^-4帕工作可达几万小时。
本系列泵除了具有一切离子泵共同特点无油、超高真空、无噪音、无振动、不需要冷却液、寿命长，耗电少等特点外，还具有以下二个重要特点：
(1)烘烤装置与泵合二为一，不卸磁钢烘烤至250^oC。
(2)采用全封闭形式，不仅不使磁钢外裸，缩小体积，而且减少磁场对外界的影响。
说明：
(1)L系列溅射离子泵，有L二极式、3L三极式和LH抽气泵三种。
(2)泵口法兰有国际标准CF和厂标阶梯法兰二种。
(3)L系列溅射离子泵，均附有电源控制箱。
(4)对有特殊要求的，根据可能，适当调整技术性能指标。

二、技术参数