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新一代数字化控制,五轴定位的磁悬浮分子泵 MAG 1500C/CT , MAG2000C/CT , MAG2200C/CT , MAG 2800C/CT , MAG 3200C/CT 抽速: 1500l/s ~ 3200l/s • 五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好全无油,耐粉尘、抗气流冲击。 • 转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形,应力小,强度高,耐冲击,高温变形量小,转子叶片不易卷曲、打碎;转子长期运行温度可高达 120 ℃ 。 • 转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层 • 较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能,适用于抽除腐蚀性强的工艺气体; • 降低气流与转子叶片摩擦产生的热量,降低转子运行温度,有利于延长转子寿命; • 叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。 • 保护轴承为陶瓷轴承,寿命长( >600 次),无需更换保护轴承。 • 高真空端连接采用 ISO-F ,连接螺栓强度高,充分保障安全。 • 智能化电源,无需 UPS 。 • 带拖动级,前级耐压在 2mbar 以上。 • 分子泵运行温度可调节,使其充分适应不同工艺制程。 • 最先进的数字控制技术 • 运行速度、温度可设置; • 运行数据记录存储,提供多达 180 条运行信息; • 磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短 • 转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间短; • 在气流长时间( 2 分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量过大时,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。 • 控制器与泵无识别性,可互换。 • 免维护。 典型应用: 适用于 • 所有半导体主要制程:刻蚀、化学气相沉淀及离子注入 • 科研领域 • 镀膜 另外,莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。 |
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民生银行劲松支行: 账户:0131014210000408 户名:北京利朋优机电设备销售中心 |
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