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磁悬浮分子泵MAG (1篇用户评论|写评论)
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新一代数字化控制,五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C/CT , MAG2000C/CT , MAG2200C/CT , MAG 2800C/CT , MAG 3200C/CT
抽速: 1500l/s ~ 3200l/s
•  五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好全无油,耐粉尘、抗气流冲击。
•  转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形,应力小,强度高,耐冲击,高温变形量小,转子叶片不易卷曲、打碎;转子长期运行温度可高达 120 ℃ 。
•  转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层
•  较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能,适用于抽除腐蚀性强的工艺气体;
•  降低气流与转子叶片摩擦产生的热量,降低转子运行温度,有利于延长转子寿命;
•  叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
•  保护轴承为陶瓷轴承,寿命长( >600 次),无需更换保护轴承。
•  高真空端连接采用 ISO-F ,连接螺栓强度高,充分保障安全。
•  智能化电源,无需 UPS 。
•  带拖动级,前级耐压在 2mbar 以上。
•  分子泵运行温度可调节,使其充分适应不同工艺制程。
•  最先进的数字控制技术
•  运行速度、温度可设置;
•  运行数据记录存储,提供多达 180 条运行信息;
•  磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短
•  转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间短;
•  在气流长时间( 2 分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量过大时,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。
•  控制器与泵无识别性,可互换。
•  免维护。
典型应用:
适用于
•  所有半导体主要制程:刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
•  科研领域
•  镀膜
另外,莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。
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