一、产品概述
体积小，安装和使用方便，理想的动平衡，震动和噪音小，压力在 10-1 -10-8范围内有恒定的抽速 ，陶瓷轴承使用寿命长
F涡轮分子泵用于高真空和超高真空，它不能直接对大气排气，需要配置前级泵。
主要应用领域
·表面物理和分析仪器
·等离子体物理，空间研究
·核聚变装置
·原子束分子束系统，粒子加速器
·真空镀膜
·真空冶炼
·半导体和光学器件制造
二、技术参数
| 型号Model |
FC150/450 |
FG150/450 |
FC250/1400 |
FG250/1400 |
FC400/3500 |
FG400/3500 |
进气口法兰
Inlet flange mm |
160CF |
160ISO-K |
250CF |
250ISO-K |
400CF |
400ISO-K |
出气口法兰
Outlet flange mm |
40KF |
63ISO-K |
100ISO-K |
抽气速度
Pumping speed L/S |
450 |
1400 |
3500 |
| 极限压力Pa Ultimate pressure |
不烘烤
without baking |
10-6 |
烘烤
with baking |
10-8 |
| 压缩比 Compression ratio |
对N2 |
108 |
1010 |
| 对H2 |
102 |
104 |
| 转速RPM r/min |
24000 |
15000 |
起动时间
Start-up time
5 |
10 |
30 | |
前级压力
Fore pressure
10 | |
建议采用的前级泵
Recommended backing pump L/S |
8 |
15 |
70 |
冷却水温度
Cooling water temperature
<℃ |
16 |
冷却水压力
Cooling water temperature
MPa |
0.196 |
泵体烘烤温度
Temperature of baking <℃ |
120 |
重量
Weight Kg |
35 |
70 |
160 | | 
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