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F型涡轮分子泵 (0篇用户评论|写评论)
商品品牌:保温/低温容器
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一、产品概述

体积小,安装和使用方便,理想的动平衡,震动和噪音小,压力在 10-1 -10-8范围内有恒定的抽速 ,陶瓷轴承使用寿命长

F涡轮分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接对大气排气,需要配置前级泵。
主要应用领域
·表面物理和分析仪器
·等离子体物理,空间研究
·核聚变装置
·原子束分子束系统,粒子加速器
·真空镀膜
·真空冶炼
·半导体和光学器件制造

二、技术参数 

型号Model FC150/450 FG150/450 FC250/1400 FG250/1400 FC400/3500 FG400/3500
进气口法兰
Inlet flange     mm   
160CF 160ISO-K 250CF 250ISO-K 400CF 400ISO-K
出气口法兰
Outlet flange  mm      
40KF 63ISO-K 100ISO-K
抽气速度
Pumping speed  L/S      
450 1400 3500
极限压力Pa Ultimate pressure 不烘烤
without baking
10-6
烘烤
with baking
10-8
压缩比 Compression ratio 对N2 108 1010
对H2 102 104
转速RPM                r/min 24000 15000
起动时间
Start-up time         
5 10 30
前级压力
Fore pressure             
10
建议采用的前级泵
Recommended backing pump  L/S
8 15 70
冷却水温度
Cooling water temperature
             <℃
16
冷却水压力
Cooling water temperature
              MPa
0.196
泵体烘烤温度
Temperature of baking             <℃
120
重量
Weight                   Kg
35 70 160

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