一、产品概述
1、抽气速率高。
2、对惰性气体（氮、氖、氩等）和氢气也有较大抽气能力。
3.极限真空度高，用扩散泵油作为工作液可达6.7X10-5Pa，采用硅油和经特殊处理后极限真空度可提高约半个数量级。
4.结构简单，无机械传动部分，寿命长，容易操作和维护保养。
5.无噪声。
二、技术参数
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参数/型号 |
K-100 |
K-150 |
K-200 |
K-300 |
K-400 |
K-600A |
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抽气速率L/S |
300 |
800 |
1250 |
3000 |
6000 |
14000 |
|
极限压力Pa |
1.3×10-4 |
7×10-5 |
7×10-5 |
7×10-5 |
7×10-5 |
7×10-5 |
|
最大反压力Pa |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
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加热功率KW |
0.75 |
1 |
1.5 |
2.4 |
3 |
8.4 |
|
泵油用量L |
0.15 |
0.4 |
0.65 |
1.3 |
3.5 |
8 |
|
冷却水用量L/h |
100 |
150 |
300 |
400 |
600 |
600 |
|
进气口直径mm |
100 |
150 |
200 |
300 |
400 |
600 |
|
推荐前级泵抽速L/S |
4 |
8 |
8 |
15 |
30 |
140 | |
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