一、产品概述
1、抽气速率高。 2、对惰性气体(氮、氖、氩等)和氢气也有较大抽气能力。 3.极限真空度高,用扩散泵油作为工作液可达6.7×10-5Pa,采用硅油和经特殊处理后极限真空度可提高约半个数量级。 4.结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。 5.无噪声。
二、技术参数
参数/型号 |
KT-200 |
KT-300 |
KT-630 |
抽气速率L/S |
1500 |
4300 |
5000 |
极限压力Pa |
7×10-5 |
6.7×10-5 |
6.7×10-5 |
最大反压力Pa |
40 |
40 |
40 |
加热功率KW |
2 |
2.2 |
12 |
泵油用量L |
1.5 |
1.3 |
7 |
冷却水用量L/h |
350 |
360 |
750 |
进气口直径mm |
200 |
300 |
630 |
|
8 |
15 |
140 | |